E系列POU纯化器

•流量范围5-4000LPM

•可配置0.003微米过滤器

•出口气体中各杂质含量小于1ppb

•可返厂再生重复使用

•可选配阀门、选配接口形式

•316L SS EP纯化罐

•设备寿命高达20年以上

•CE认证

•根据客户需求定制各项参数

型号

最大流量

(SLPM)

标准流量

(SLPM)

最大工作压力

(Mpa)

接口形式

长度

管径

(mm)

EGP001

1

0.5

9.66

1/4"MVCR

84(3.31"±.03)

38.1（1.5"）

EGP005

5

4

9.66

1/4"MVCR

114(4.49"±.03)

38.1（1.5"）

EGP010

10

5

9.66

1/4"MVCR

127(5.00"±.03)

38.1（1.5"）

EGP020

20

7.4

6.90

1/4"MVCR

84(3.31"±.03)

50.8（2.0"）

EGP020A1

20

12

6.90

1/4"MVCR

157(6.18"±.03)

50.8（2.0"）

EGP050

50

18

5.52

1/4"MVCR

208(8.19"±.03)

50.8（2.0"）

EGP075

75

36

4.14

1/4"MVCR

201(7.91"±.03)

76.2（3.0"）

EGP120

120

50

4.14

1/4"MVCR

254(10.00"±.03)

76.2（3.0"）

EGP300

300

170

3.49

1/4"MVCR

439(17.3"±.06)

101.6（4.0"）

EGP500

500

170

3.49

1/2"MVCR

445(17.52"±.06)

101.6（4.0"）

EGP500A1

500

200

3.49

1/2"MVCR

508(20.00"±.06)

101.6（4.0"）

EGP500A2

500

320

3.49

1/2"MVCR

785(30.91"±.06)

101.6（4.0"）

EGP1000

1000

640

2.56

1/2"MVCR

737(29.02"±.06)

152.4（6.0"）

EGP1000A1

1000

640

2.56

3/4"MVCR

749(29.49"±.06)

152.4（6.0"）

EGP2000

2000

820

2.56

3/4"MVCR

892(35.12"±.06)

152.4（6.0"）

EGP2000A1

2000

1020

2.56

3/4"MVCR

1085(42.72"±.06)

152.4（6.0"）

EGP2000A2

2000

1260

2.56

3/4"MVCR

1290(50.79"±.06)

152.4（6.0"）

EGP2500

2500

820

2.56

1"MVCR

899(35.39"±.06)

152.4（6.0"）

EGP2500A1

2500

1020

2.56

1"MVCR

1090(42.91"±.06)

152.4（6.0"）

EGP2500A2

2500

1260

2.56

1"MVCR

1296(51.02"±.06)

152.4（6.0"）

•大规模集成电路制造

•光纤预制棒生产

•半导体分立器件制造

•众多半导体工艺设备配套

•大尺寸硅片、衬底、外延片生产

•超高纯气体、混合气体和标准气体生产

•LED、激光器制造

•吹扫气体、载气及零点气体纯化

•平板显示器生产

•大学和研究所等科研机构产品研发

•高效太阳能电池生产

•医药及食品行业