❖ 产品介绍
P系列纯化器通过采用催化吸附技术在常温下将气体中杂质进行吸附，POU纯化器可根据客户的不同需求进行定制（包含接头尺寸大小、长短和盘面等）。
❖ 产品特点
•流量范围100-1000LPM | •可配置0.003微米过滤器 |
•出口气体中各杂质含量小于1ppb | •可返厂再生重复使用 |
•可选配阀门、选配接口形式 | •316L SS EP纯化罐 |
•设备寿命高达20年以上 | •CE认证 |
•根据客户需求定制各项参数 |
❖ 纯化能力
可去除H₂O、O₂、Co、CO₂、H₂、NMHC等杂质<1ppb
可提供酸、碱、难熔化合物的去除
适用气体N₂、H₂、O₂、Ar、He、Kr、Ne、Xe 、CDA 、CH₄ 、CO₂ 、CL₂ 、BF₃、HCL、GeCl₄、GeH₄、H₂S、H₂Se、HBr、SiHCl₃ 、SO₂等三十多种特气
❖ 产品选型
型号 | 最大流量 (SLPM) | 最大工作压力 (Mpa) | 接口形式 | 长度 | 管径 (mm) |
EGP100-HP | 100 | 18.0 | 1/4"MVCR | 15.55"±0.03" | 60 |
EGP100-SP | 100 | 24.0 | 1/4"MVCR | 15.63"±0.03" | 60 |
EGP250-HP | 250 | 18.0 | 1/4"MVCR | 19.88"±0.03" | 102 |
EGP250-SP | 250 | 24.0 | 1/4"MVCR | 20.04"±0.03" | 102 |
EGP500-HP | 500 | 18.0 | 1/2"MVCR | 22.95"±0.03" | 133 |
EGP500-SP | 500 | 24.0 | 1/2"MVCR | 23.19"±0.03" | 133 |
EGP1000-HP | 1000 | 18.0 | 1/2"MVCR | 42.09"±0.06" | 180 |
EGP1000-SP | 1000 | 24.0 | 1/2"MVCR | 45.55"±0.06" | 180 |
▶ 备注：表格中仅列出标准型号的指标和配置，更多特殊要求请与工厂联系
❖ 应用领域
•大规模集成电路制造 | •光纤预制棒生产 |
•半导体分立器件制造 | •众多半导体工艺设备配套 |
•大尺寸硅片、衬底、外延片生产 | •超高纯气体、混合气体和标准气体生产 |
•LED、激光器制造 | •吹扫气体、载气及零点气体纯化 |
•平板显示器生产 | •大学和研究所等科研机构产品研发 |
•高效太阳能电池生产 | •医药及食品行业 |
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